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表面粗糙度(Surface roughness)是指材料表面的微小表面起伏（波峰、波谷）的不平度。早在1920-1930年间，德国的一些研究人员就开始了对表面粗糙度的研究。研究表明，材料的表面特性对机械性能有很大的影响，而随着机械零部件的性能要求和加工工艺的提升，零部件表面的粗糙度情况也变得尤其重要。粗糙度的形成？如果你仔细观察机床加工零件的过程，你会注意到零件的表面在刀片和机床的作用下，表面呈现出一种复杂的形状，它大多数情况下是由一系列不同高度、深度和间距的波峰波谷组成。这些波峰波谷非常微小，

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失效分析是对于电子元件失效原因进行诊断，在进行失效分析的过程中，往往需要借助仪器设备，以及化学类手段进行分析，以确认失效模式，判断失效原因，研究失效机理，提出改善预防措施。其方法可以分为有损分析，无损分析，物理分析，化学分析等。其中在进行微观形貌检测的时候，尤其是需要观察断面或者内部结构时，需要用到离子研磨仪+扫描电镜结合法，来进行失效分析研究。离子研磨仪目前是普遍使用的制样工具，可以进行不同角度的剖面切削以及表面的抛光和清洁处理，以制备出适合半导体故障分析的 SEM 用样品。离子研磨仪TECH